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半導體氣體分析儀

更新時間:2026-01-11

簡要描述:

半導體氣體分析儀OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測量法基礎上,能夠精確測量半導體應用中產生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設計緊湊,且無移動部件,適合在半導體工業流程中用于連續的...

型號:OPTI-Sense系列點擊量:1505

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半導體氣體分析儀OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測量法基礎上,能夠精確測量半導體應用中產生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設計緊湊,且無移動部件,適合在半導體工業流程中用于連續的...

內置的診斷系統包含在軟件當中。全部OPTI-Sense系列傳感器都配有模擬和數字交互,使得它們可以簡單的整合進任何工業流程。

半導體氣體分析儀支持的氣體

SiF4
CF4
SiF3
SF6
CO
NF3
CO2
WF6
和其他氣體

半導體氣體分析儀規格參數
測量原理 :非色散紫外吸收法 
應用 :現場測量 
光源 :脈沖紅外發射器 
材料 :抗腐蝕的光學元件, 
           不銹鋼接觸液體的部件 
尺寸 (高x寬x長) :5.00" x 8.75" x 3.25" (包含光源和探測器) 
重量 :< 5 lbs 
模擬輸出 :出廠設置為 0 – 1, 5, 或 10 volt 
數字交互 :RS-232 C和可選的GUI交互 
響應時間 :< 10秒 
電源 :15 VDC – 小于 10 瓦特 (可選AC 電源) 
采樣端口 :KF16 – 304 SS (可選其他選項) 
校零 :支持遠程校零 
漏氣測試 :真空密封測試 
軟件 :嵌入 (標準) - Labview GUI 交互(可選) 
認證 :CE 
保修 :1 年

半導體氣體分析儀特征
NDIR 非色散紅外測量法
適用于任何吸收紅外光的氣體
響應時間快
高敏感度
氣體特異性
無耗材
無移動部件
GUI LabView軟件(可選)


 



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