ALICAT 氣體質量流量計

應用及案例 

●  大學/研究所           ●  泄漏檢測
●  環境監測                ●  真空行業及鍍膜
●  工業爐窯                ●  半  導  體
●  汽車制造                ●  光       伏
●  燃料電池                ●  計量校準
●  過程工藝氣體測量

ALICAT 氣體質量流量計

產品特色 

●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  可選高精度：優于0.5%讀數

●  可測范圍廣，0.01~100%滿量程

●  響應時間快，優于10 ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考背面

            一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量    程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測量范圍    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128 % 滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ± （0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角

            ± （0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數額外誤差

重 復 性    ± （0.2 %讀數+0.02 %滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）

響應時間    優于10 ms （與流量相關）  

預熱時間    < 1 s

默認標況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95%，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

最di操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPa以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ± 0.5 % 讀數（讀數＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

最大進出口壓差    0.5MPa

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、

                     DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）

供電電流    40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質   302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）

精度升級

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，

其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃（從 25 ℃開始）

± 0.01% 滿量程 / Atm（從校準壓力開始）

質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數 / ℃（從 25 ℃開始）

± 0.1 % 讀數 / Atm（從校準壓力開始）

選項配件

●  標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內置30種氣體可選
200:1量程可調比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保

●  可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍